Vpliv Jedkanje na kovinskih mikrostruktur

postopek uporabe tankih kovinskih filmov jepomemben del polprevodnikov in magnetizem industrije. Dve glavni vrsti obdelave vključujejo rast kovinskih filmov in jedkanje kovinskih filmov . Rast vključuje odlaganje kovinskega materiala , s postopkom, kot je uparjanje ali razprševanjem . Jedkanja jeobratni proces in vključuje odstranitev selektivno material z izpostavljenostjo do določene kemikalije ali z obstreljevanjem materiala z ioniziranih molekul plina . Jedkanje

jedkanja jeselektivno odstranjevanje materiala . Obstajata dva načina za Rezati material. Kemična jedkanju se pogosto uporablja za selektivno odstranjevanje določenega materiala , medtem ko druga območja vzorca nedotaknjen . Primer jeuporaba fluorovodikove kisline, da se tako selektivno odstrani silicijev dioksid. Drugi način etch je, da se vzorec v vakuumski komori nato uvede plinov, na primer argona . Argon nato ionizira niz elektrod in pospešeni proti vzorcu . Ioni bombardirajo vzorec in odstranite material. Ker so vsi deli vzorca bombardiran , da niselektiven rezati , in vse površine izpostavljene bo imel material odstrani .
Zmanjšanje Metal Debelina

Izpostavljanje kovinskih vzorec na rezati bo zmanjšala debelino vzorca je . To je pogostoželen rezultat jedkanju . Da bi odpravili določeno količino materiala , je treba izpostaviti jedkanju za določen čas , na primer , eno minutokovine . Debelina nato treba izmeriti , da bi dobili stopnjo Rezati , kot 10 nanometrov na sekundo.
Film Grobost

Čeprav je cilj s Rezati je zmanjšati debelino kovine , običajno ima svojo ceno . Kovinska folija hrapavosti lahkozelo pomembna količina , ki je običajno merjena z napravo, imenovano mikroskopna atomsko silo . Na splošno ,daljši jesnov jedka ,večjakovinska folija hrapavost postane .
Grain Velikost

Kovinski filmi so sestavljeni iz več milijonov drobnih zrn , ki so običajno v razpon velikost od 5 do 100 nanometrov . Kot jedka kovinske folije , lahkopovprečna velikost velikost zrn zniža , vendar je to v veliki meri odvisna od vrste rezati , čas jedkanje in Radirati energije, če jeionska jedkanju .