postavite substrata na spin- prekrivalca chuck . S pipeto postavite dovolj SU8 2002 upreti na podlago , da se popolnoma pokrije . Programiranje spin- prekrivalcu vrteti pri 500 vrtljajih na minuto 10 sekund , nato pa 2000 rpm za 30 sekund . Proizvajalca, podatkovni list navaja, da naj bi to privedlo doupreti debeline 2,4 mikrona.
2
Odstranite vzorec iz spin- bazenčka in jo postavite na vroči plošči nastavljen na 95 stopinj Celzija oziroma 203 stopinj Fahrenheit . Pustite vzorec na vroči plošči za dve minuti . Odstranite vzorec in pustimo , da se ohladi za pet minut .
3
Postavite foto- masko v masko Poravnjavač . Vzorec položite pod masko. Izpostavljajte vzorec . Vzemite vzorec iz maske Poravnjavač in jo postavite v čašo razvijalec za eno minuto . Po razvoju , izpiranje vzorca v izopropil alkohol . Vzorec bo sedaj sestavljen iz niza potiskane jam , ki so baker lahko odložen na končati PCB .
4
Postavite kroglico bakra v izhlapevanje komorni lonček. Črpalka navzdol izparevanjem komore s tlakom okoli 10 ^ -6 mbar ali 10 ^ -4 Pascalov . Deponiranje želeno debelino bakra . Vzemite vzorec iz uparjalnika . Vzorec postavimo v čašo acetona. To odpravljapreostale SU8 upreti , in pušča bakrenih skladbe. Vzorec sperite v čašo IPA . PCB je popolna