Postavite silicijev substrat za spin- prekrivalca chuck . Izbira hitrost vrtenja 3000 obratov na minuto, čas vrtenja 2 minuti . Postavite nekaj kapljic S1813 na podlago in začnite vrteti .
2
Vklopite vročo ploščo in jo nastavite na 110 stopinj Celzija ( 230 stopinj Celzija ). Počakajte, da segrelna plošča dosegla nastavljeno temperaturo točk . Vzorec se postavi na vroči plošči za 2 minuti . Vzemite vzorec in ga pustite , da se ohladi .
3
Vzorec se postavi v masko Poravnjavač in postavite masko s krožno stezi v maski Poravnjavač nad vzorca. Izpostavljajte vzorec ultravijolični svetlobi za 2 sekundi.
4
Vzorec se postavi v razvijalec S1813 za 30 sekund . Razvijalec odstrani izpostavljenih delih vzorca , ki tvorijo krožno progo , ki se superprevodne material lahko odlaga v .
5
Vzorec se postavi v uparjalnik in postavite nekaj pelete niobija v uparjanja lonček . Izhlapi 100 nanometrov, niobija . Odstranite vzorec iz izparevanja komore . Vzorec se postavi v acetonu . Aceton odstrani vse dele foto - upreti zapusti superprevodnih krožni stezi . Vzorec je končana . Niobija je superprevodnih pod 9,3 Kelvina .