Kako izračunati neujemanje v anizotropnimi Jedkanje

Ugotavljanje neskladnosti - ali neusklajenost celic - v anizotropnim jedkanju zahteva metodo izračuna, ki se imenuje "čas nadomestilo . " To je mogoče videti , ko ste reševanje algoritem, ki se uporablja , ko simulira proces jedkanja silicija v EDP ​​, KOH ali TMAH rešitev . Ko se uporabljametoda celični avtomati ( CA ), za simulacijo jedkanjasubstrat predstavljajo posamezne celice , ki so vsebovane znotraj kristalne strukturi mreže . Navodila

1

Napišite enačbo za določitev števila Rezati korakov. Ta je izražena kot N (t ) = [ M /E (s ) t ] t. Privzeta vrednost 1 uporabimo za Tvrednost M mnogokratnik E ( S) T. Vrednost E ( ov) je [ 0,1] .
2

Napišite enačbo za določitev enakovredne stopnje Rezati površinske materiala. Ta se izraža kot : . Jezik

E ( e) = M /N ( t) T = M /( M /E ( i) T ), T = E ( e)

M nimnogokratnik E (s ) t , nato pa se boneusklajenosti prišlo zaradi tega, kerjedkanje naslednjo celico takoj ne začne.
3

zapišite za " k ", ki uporablja se za identifikacijo etch korak . Naslednji Rezati korak v procesu, ki je označen kot K + 1 . Upoštevajte časovno razmerje za jedkanje koraku saj TB (k ) .
4

Napišite enačbo , ki se uporablja za izračun časa odškodnino. Ta enačba se izrazi kot : jezik

M (k)> E ( e) ( T + Tb (k - 1) slovenian

nato

T ( k) = T + Tb (k - 1) slovenian

M (k +1 ) = M ( k) - E ( e ) T ( k)

Tb ( k) = 0

drug

T ( k) = P ( k) /E ( e)

M (k +1) = 0

Tb ( k) = T - T ( k)

končni rezultat rezultatov čas odškodninskih metoda v enačbi , ki se izraža kot : jezik

E ( i) = M (k ) /T ( k) = E ( e) za Rezati korak k